半導(dǎo)體晶圓加工是指制作硅半導(dǎo)體電路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高純度的多晶硅溶解后摻入硅晶體晶種，然后慢慢拉出，形成圓柱形的單晶硅，硅晶棒在經(jīng)過研磨，拋光，切片后，形成硅晶圓片，也就是晶圓。

隨著半導(dǎo)體、光伏產(chǎn)業(yè)近年來迅速發(fā)展，行業(yè)高耗能、高污染的問題也日益凸顯，在生產(chǎn)中會產(chǎn)生大量的工業(yè)廢水，廢水中含有較高濃度的h2o2以及一定量的氨、氮、氟等，以及酸堿廢水。需要對半導(dǎo)體廢水進(jìn)行處理，直到達(dá)標(biāo)后才能進(jìn)行排放。

膜過程作為一門新型的高效分離、濃縮、提純及凈化技術(shù),具有操作簡單、占地面積小，處理過程中無相變及不會產(chǎn)生新的污染物質(zhì)、分離效果好等優(yōu)點，近年來在水處理領(lǐng)域中得到廣泛應(yīng)用。

納濾（NF）是介于超濾與反滲透之間的一種膜分離技術(shù)，其截留分子量在100-1000的范圍內(nèi)。納濾膜屬于電荷膜，一般帶羧酸基和磺酸基，分離機(jī)理為篩分和溶解擴(kuò)散并存，同時又具有電荷排斥效應(yīng)，可以有效地去除二價和多價離子、去除分子量大于200的各類物質(zhì)，可部分去除單價離子和分子量低于200的物質(zhì)。在半導(dǎo)體廢水深度處理應(yīng)用中，納濾膜具有運行壓力低，膜通量高，裝置運行成本低的優(yōu)勢，還可與其它污水處理工藝相結(jié)合，進(jìn)一步降低成本，提高處理效果。其技術(shù)特點如下：

1、納濾膜組件對無機(jī)鹽有一定的截留率，因為它的表面分離層是由聚電解質(zhì)所構(gòu)成，對離子有靜電相互作用。

2、超低壓大通量，即在超低壓下(0.1Mpa)仍能工作，并有較大的通量。

納濾膜的分離性能明顯優(yōu)于超濾和微濾，與反滲透膜相比具有部分去除單價離子、過程滲透壓低、操作壓力低、省能等優(yōu)點，在半導(dǎo)體廢水處理領(lǐng)域中得到了廣泛的應(yīng)用。